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一种用于晶圆转换装置

2024/9/9 10:06:11

[实用新型] 一种用于晶圆转换装置

授权公告号:
CN221668797U
授权公告日:
2024.09.06
申请号:
2023233184640
申请日:
2023.12.06
专利权人:
上海赛瑾精密科技有限公司
发明人:
高华华;刘出群;潘径波
地址:
200000上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号A幢2楼南侧201室

摘要:

本实用新型公开了一种用于晶圆转换装置,包括:底座,所述底座的上部设置有操作台且操作台的表面设置有卡条,所述卡条设置有两组并呈平行设置,所述卡条之间设置有若干组在位感应器,所述操作台的内部设置有活动槽且活动槽的内部设置有推杆,所述底座的内部设置有电机且电机的动力输出端设置有联轴器。本实用新型通过电机带动螺杆旋转,从而使滑动块带动滑块组件移动,使推管带动推杆在活动槽内移动,将需要转换的晶圆以CST的方式放置在右边位置,操作台的左边放置空的CST,通过晶圆推片机构将右边的晶圆推至左边空的CST内,并回退到初始位置,该装置降低了劳动强度,实现一键转换,大大提升了劳动效率,可靠的结构组成,降低了破片率。